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无尘室、无尘车间内排风系统的处理设备、风管、附件，如密闭阀、调节阀和止回阀等附件的制作材料保温材料和涂料，应根据排出气体的性质及其所处的空气环境等确定。排风系统的风管应采用不燃材料，比如各种类型的金属板材，包括碳钢、不锈钢、有色金属板材，具体选用应按排气的性质确定；附件、保温材料、消声材料和涂料等均采用不燃材料或难燃材料，不燃材料主要是岩棉、玻璃棉等，难燃材料主要是氧指数大于等于32的橡塑海绵、聚氨酯等；排除腐蚀性气体的风管，应采用耐腐蚀的难烧材料或难燃材料。
当有多套洁净空调系统同时运行时，可以采用新风集中处理，再分别供给各套洁净空调系统的方式；由于新风是无尘室主要污染源之一，新风处理不好，会降低表冷器的传热系数和高效过滤器的使用寿命，因此对新风进行过滤处理是很有必要的，目前常用的新风三级过滤，即新风经粗效、中效、亚高效过滤处理，有些地方新风还需经过水喷淋或化学过滤器处理。
排烟风机可采用离心风机或排烟专用风机，应考虑10%-20%的漏风量，风压应满足排烟系统的**不利环路的要求，在风机入口总管上设置当烟气温度超过280摄氏度能自动关闭的防火阀，且应与排烟风机连锁。排烟口或排烟阀应设置在顶棚内的墙面上，且与邻近安全出口相邻边缘之间的水平距离不应小于1.5m，排烟口或排烟阀平时应关闭，并应设有自动或手动开启装置，排烟口与该防烟分区内**远的水平距离不应超过300m。
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